マルチプローブ顕微鏡プローバーシステム

National award number：JPMJSN08C7
Study period：2008 - 2010
Organization (1)：
Corporate responsibility：
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJSN08C7
Research overview：

本事業「要素技術プログラム」において開発・発展させてきた超高真空4探針STM( 走査トンネル顕微鏡)-SEM( 走査電子顕微鏡) 装置をさらに高度化し広く普及させるために、その実証機を試作します。また、本装置で核心的要素となる機能性カーボンナノチューブ(CNT) 探針について、その大量生産に適するCNT 探針直接成長法を確立し,プラズマCVD カーボンナノチューブ成長装置実証機を試作します。また、探針の「その場」作成装置を超高真空4 探針STM-SEM 装置と結合させ、探針の酸化劣化を防いで超伝導特性や強磁性特性を維持した探針による多機能計測を実現し、アプリケーション計測の多様化を図ります。

Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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