Proj
J-GLOBAL ID:202104019497338767  Research Project code:09157670

透明固体基板の内部微細加工技術の拡張

透明固体基板の内部微細加工技術の拡張
Study period:2009 - 2009
Organization (1):
Principal investigator: ( , 大学院ソシオテクノサイエンス研究部 )
Research overview:
申請者らは、フェムト秒レーザーを用いてガラス等の透明固体材料の内部にマイクロメートルオーダーの空間分解能で自由な形状の空洞を作製する技術に関する研究を行ってきた。この技術を用いてシリカガラス内部に可動構造物を内包する空洞を作製し、その可動構造物を非接触で回転させることに成功した。本申請研究では、この技術をさらに発展させるため、より安全なエッチング液を用いての加工技術の確立と、新しい被加工材料の開拓を目指す。
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page