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J-GLOBAL ID：202104019757914430  Research Project code：15668060

ナノオーダ微細形状精度・微細壁面粗さ測定用 極小径スタイラス製作技術の開発

ナノオーダ微細形状精度・微細壁面粗さ測定用 極小径スタイラス製作技術の開発
National award number：JPMJTM15JF
Study period：2015 - 2016
Organization (1)：
北九州市立大学

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Research responsibility：
村上 洋

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(
北九州市立大学

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, 国際環境工学部, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM15JF
Terms in the title (9)：
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Organization with control over the research：
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