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J-GLOBAL ID：202104019790097626  Research Project code：07100195

3次元化学状態解析硬X線光電子分光装置

3次元化学状態解析硬X線光電子分光装置
National award number：JPMJSN05A6
Study period：2005 - 2009
Organization (1)：
独立行政法人物質・材料研究機構

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Research responsibility：
小林 啓介

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(
独立行政法人物質・材料研究機構

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, 共用ビームステーション, ステーション長 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJSN05A6
Research overview：
ナノデバイス・ナノ材料の3次元化学結合状態を分析できる硬X線光電子分光装置を開発します。開発では、電子の脱出角依存性を試料の角度を変えることなく一度に測定できる広角度アクセプタンス対物レンズを使用します。さらに収束硬X線の試料上での2次元走査を加えて、3次元化学状態分析を実現します。高密度集積回路、磁気薄膜電子デバイス等新規ナノ材料の分析装置として活用されます。
Terms in the title (4)：
Terms in the title
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3次元

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化学状態

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解析

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, 
硬X線光電子分光

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Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

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Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

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