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J-GLOBAL ID：202104019823011790  Research Project code：09158950

ライン型高密度大気圧プラズマ源による非晶質薄膜の大面積結晶化技術開発

ライン型高密度大気圧プラズマ源による非晶質薄膜の大面積結晶化技術開発
Study period：2009 -
Organization (2)：
住友精密工業株式会社

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, 
埼玉大学

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Corporate responsibility：
住友精密工業株式会社

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Research responsibility：
白井 肇

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(
埼玉大学

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, 大学院理工学研究科, 教授 )
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高密度

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Research program：
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Organization with control over the research：
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