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J-GLOBAL ID：202104019869640546  Research Project code：11103220

大気圧プラズマを援用した低環境負荷型ナノ精度一貫加工装置の開発

大気圧プラズマを援用した低環境負荷型ナノ精度一貫加工装置の開発
Study period：2011 - 2013
Organization (2)：
明昌機工株式会社

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大阪大学

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Corporate responsibility：
明昌機工株式会社

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Research responsibility：
山村 和也

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(
大阪大学

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, 大学院工学研究科, 准教授 )
Terms in the title (5)：
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大気圧プラズマ

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環境負荷

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Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

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Organization with control over the research：
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