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J-GLOBAL ID:202104019964142022  Research Project code:16812768

超高感度無線無電極MEMS水晶振動子センサーの開発

超高感度無線無電極MEMS水晶振動子センサーの開発
National award number:JPMJSN16B5
Study period:2016 - 2019
Organization (1):
Research responsibility: ( , 基礎工学研究科, 准教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJSN16B5
Research overview:
世界で初めて開発に成功した無線・無電極圧電振動子センサーの原理を基盤とし、MEMSプロセスを駆使して温度補正を必要としない超高感度水晶振動子センサーを開発する。これは従来の振動子センサーの数万倍の質量感度を持つ素子であり、バイオセンサー、ガスセンサー、呼気センサーとしての革新的な要素技術となり、健康・安心・安全な社会に多大に貢献することが期待される。
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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