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J-GLOBAL ID:202104020014223164  Research Project code:08005371

マイクロナノ構造体成形に適した電鋳材料の開発

マイクロナノ構造体成形に適した電鋳材料の開発
Study period:2007 - 2007
Organization (1):
Principal investigator: ( , 機械電子・金属材料担当, 技師 )
Research overview:
電鋳技術は精密な転写性を有していることから、MEMS(微細電気機械システム)といった最先端技術に応用されている。しかし従来の電鋳材料であるニッケルや銅では1強度不足、2耐久性不足、3材料組織の不均一性などの問題があり、さらなる微細成形品へ応用するには問題があった。そこで、上記3点の問題点を解決する様な、マイクロナノ構造材料に適した電鋳材料の開発を行う。
Terms in the title (3):
Terms in the title
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Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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