アセンブリフリー単一マスク回転傾斜露光法の開発とバイオ応用

Study period：2008 - 2008
Organization (1)：
Principal investigator： ( )
Research overview：

本研究では、従来のMEMSプロセスにおいて技巧的問題であったアライメントやボンディングを不要とする作製技術として、特殊なパターン設計を行ったマスクを用いて傾斜と回転を組み合わせた多段階露光により複雑な3次元形状を作製する方法を提案し、実用化を目的とした構造物の微細化と高度化について検討すると共に、応用例として、遺伝子解析研究の高機能ツールとなる染色体DNA伸長固定デバイスの高密度集積化についても検討する。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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