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J-GLOBAL ID：202104020259430025  Research Project code：7700108198

超精密ナノ加工計測装置の開発

超精密ナノ加工計測装置の開発
Study period：2003 -
Organization (1)：
大阪大学

About 大阪大学


Principal investigator：
高谷 裕浩

About 高谷 裕浩

(
大阪大学

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, 助教授 )
Research overview：
直径数ミクロンの微粒子を光放射圧で制御し、プローブ球として利用することにより、高感度なナノ3次元の位置検出マイクロプローブ技術を開発し、さらにこれを超精密加工機に搭載して加工-計測機能が一体化された超精密ナノ加工計測装置を構築する。
Terms in the title (4)：
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
超精密

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, 
ナノ加工

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計測装置

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, 
開発

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Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

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