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J-GLOBAL ID：202104020435999137  Research Project code：7700400569

原子層堆積法による軟X線多層膜フレネルレンズ

原子層堆積法による軟X線多層膜フレネルレンズ
Study period：2000 -
Organization (1)：
エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社

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Corporate responsibility：
エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社

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