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J-GLOBAL ID：202104020709356840  Research Project code：7700002046

金属磁性材料用反応性イオンエッチング技術

金属磁性材料用反応性イオンエッチング技術
National award number：JPMJTT9711
Study period：1997 -
Organization (2)：
金属材料技術研究所

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, 
アネルバ株式会社

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Principal investigator：
中谷 功

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(
金属材料技術研究所

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)
Corporate responsibility：
アネルバ株式会社

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DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTT9711
Terms in the title (2)：
Terms in the title
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磁性材料

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, 
反応性イオンエッチング

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Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

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Organization with control over the research：
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