Proj
J-GLOBAL ID:202104020763700173  Research Project code:08000496

銀薄膜微細構造の作製とサイズ効果の検討

銀薄膜微細構造の作製とサイズ効果の検討
Study period:2007 - 2007
Organization (1):
Principal investigator: ( , 工学部機能材料工学科, 助教授 )
Research overview:
現在の銅配線において、線幅の減少に伴う急激な配線抵抗の増大が問題視されている。一方、銀は金属中で最も低抵抗であり、またEM耐性も優れるとの研究報告例もあるが、未だ新規配線材料として現実味を帯びていないのが現状である。本課題では、銀配線構造を作製し、その抵抗率と線幅との関係の調査を目的とする。
Terms in the title (4):
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page