Proj
J-GLOBAL ID：202104020865691543  Research Project code：19216467

トラック型熱プラズマによるパワー半導体SiC表面の新しい超高速大面積改質

トラック型熱プラズマによるパワー半導体SiC表面の新しい超高速大面積改質
National award number：JPMJTM19F6
Study period：2019 - 2020
Organization (1)：
金沢大学

About 金沢大学


Principal investigator：
田中 康規

About 田中 康規

(
金沢大学

About 金沢大学

, 理工研究域, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM19F6
Research overview：
「レーストラック型-線状誘導熱プラズマ」を開発し,基板上に,より長い熱プラズマを実現し,超高密度の原子およびラジカルを一様に直接基板に照射する「大面積・超高速表面処理技術」を提案する。
Terms in the title (6)：
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
トラック

About トラック

, 
熱プラズマ

About 熱プラズマ

, 
パワー半導体

About パワー半導体

, 
SiC

About SiC

, 
大面積

About 大面積

, 
改質

About 改質

Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

About Industry-Academia Collaborative R&D

＞
R&D Programs Focused on Technology Transfer

About R&D Programs Focused on Technology Transfer

＞
Adaptable & Seamless Technology Transfer Program through Target-driven R&D

About Adaptable & Seamless Technology Transfer Program through Target-driven R&D

＞
Functional verification phase

About Functional verification phase

＞
Test study

About Test study


Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM