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J-GLOBAL ID:202104020865691543  Research Project code:19216467

トラック型熱プラズマによるパワー半導体SiC表面の新しい超高速大面積改質

トラック型熱プラズマによるパワー半導体SiC表面の新しい超高速大面積改質
National award number:JPMJTM19F6
Study period:2019 - 2020
Organization (1):
Principal investigator: ( , 理工研究域, 教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTM19F6
Research overview:
「レーストラック型-線状誘導熱プラズマ」を開発し,基板上に,より長い熱プラズマを実現し,超高密度の原子およびラジカルを一様に直接基板に照射する「大面積・超高速表面処理技術」を提案する。
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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