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J-GLOBAL ID：202104020975448598  Research Project code：19198202

パワー半導体・多糖ナノファイバー高速研磨&鏡面化アシスト材 ~機械研磨-化学機械研磨ワンストップ高速研磨・鏡面化システムの開発

パワー半導体・多糖ナノファイバー高速研磨&鏡面化アシスト材 ~機械研磨-化学機械研磨ワンストップ高速研磨・鏡面化システムの開発
National award number：JPMJTR192E
Study period：2019 - 2021
Organization (1)：
濱田重工株式会社

About 濱田重工株式会社


Corporate responsibility：
古賀 正樹

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(
濱田重工株式会社

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, 技術部開発グループ, グループ長 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTR192E
Terms in the title (10)：
Terms in the title
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パワー半導体

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多糖

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ナノファイバー

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研磨

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アシスト

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機械研磨

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化学機械研磨

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