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J-GLOBAL ID:202104021049570475  Research Project code:09156654

MEMS技術を応用した集積化2.5次元磁気センサの開発

MEMS技術を応用した集積化2.5次元磁気センサの開発
Study period:2009 - 2009
Organization (1):
Principal investigator: ( , 工学部, 准教授 )
Research overview:
本研究では、小型磁気浮上型モータや,磁気支持フライホール等の回転体軸ブレの計測を行うための、2.5次元計測用集積化磁気センサを開発する。磁気センサは0.18μmCMOSプロセスで作製し、16×16個を格子状に並べる事により磁石を取り付けた軸の位置を測定する。測定対象は3000rpm程度で回転するモータの軸ブレであるため、センサの応答速度を8000フレーム/秒とすることを目標とする。
Terms in the title (6):
Terms in the title
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Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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