超臨界流体を用いたサブナノ級薄膜細孔解析技術の開発

Study period：2009 - 2009
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 大学院医学工学総合研究部, 教授 )
Research overview：

超臨界流体の細孔への高い浸透性を利用して、測定物質から反射する光の偏光パラメータが流体の細孔への浸透とともに変化することを計測して、測定物質の細孔体積や分布を計測する技術で、薄膜中のサブナノ級細孔の評価が可能である。本提案課題では、超臨界流体の揺動や高圧セルの窓材が偏光情報に及ぼす影響を抑制・補正し精度を高く測定するための技術の開発、ならびに細孔評価のための計測条件の系統的検討を行う。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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