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J-GLOBAL ID:202104021091112878  Research Project code:09157067

超精密加工のための熱変形推定システムの開発

超精密加工のための熱変形推定システムの開発
Study period:2009 - 2009
Organization (1):
Principal investigator: ( , 情報技術部門, 研究員 )
Research overview:
6箇所の温度変化を0.001°Cの分解能で測定する技術を開発し、この測定装置により分析した結果、ナノメートル分解能の加工機では加工機各部の1°C程度の僅かな温度変化が加工精度に直接影響することが判明した。
Terms in the title (4):
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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