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J-GLOBAL ID:202104021275036708  Research Project code:7700009914

超音波の共振効果を利用したナノ導波管水素センサ

超音波の共振効果を利用したナノ導波管水素センサ
Study period:2006 - 2006
Organization (1):
Principal investigator: ( , 大学院工学研究院 )
Research overview:
水素中での音速が空気中に比べ約4倍と非常に大きいことに注目し、超音波ナノ導波管を作り、その共鳴周波数を感知し、空気中の水素濃度による音速の変化による共鳴周波数の変化をセンスする。さらに、水素の拡散速度が大きいことから、導波管の大きさをマイクロまたはナノオーダーに微細化構造にすることで他種のガスの侵入を抑制し、水素の選択性を高めることが可能である。 この原理による水素センサは前例が無く、水素のよる音速の変化を共振周波数の変化として検知すると言う単純な構造・仕組みであることから、応答速度が速くかつ測定濃度範囲も広く高感度であり、小型かつ安価で衝撃に強い高信頼性水素センサが実現できる。
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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