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J-GLOBAL ID：202104021324220943  Research Project code：17938885

高空間分解能SiC・GaNウェハ結晶品質評価装置の開発

高空間分解能SiC・GaNウェハ結晶品質評価装置の開発
National award number：JPMJTM17B7
Study period：2017 -
Organization (1)：
名古屋工業大学

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Principal investigator：
加藤 正史

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(
名古屋工業大学

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, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM17B7
Terms in the title (7)：
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