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J-GLOBAL ID:202104021352427626  Research Project code:10102681

発熱ナノカプセル粒子の鋳込成型体を用いた瞬間接着技術の創成

発熱ナノカプセル粒子の鋳込成型体を用いた瞬間接着技術の創成
National award number:JPMJPR10H9
Study period:2010 - 2013
Organization (1):
Principal investigator: ( , 大学院工学研究科, 准教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJPR10H9
Research overview:
本研究では、ナノ粒子生成のボトムアップ手法とMEMSプロセスのトップダウン手法とを融合させ、1秒未満で700°C相当の熱量を瞬間発生可能な発熱素材を創製し、これを熱源としたSiウェハの瞬間はんだ接着法の確立を目指します。Alナノ粒子にNiをナノコートしたAlNiナノカプセルを素材とし、本接着法により、ほぼ0Wのエネルギーでウェハを接着でき、低エネルギー・低コストな“エコ接着技術”としてCO2削減に貢献します。
Terms in the title (5):
Terms in the title
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Research program:
Parent Research Project: ナノシステムと機能創発
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency
Reports :

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