分光用デバイス、分光器、及び分光測定方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：棚井澄雄 , 小林淳一 , 清水雄一郎
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2018007666
Publication number (International publication number)：2019128157
Patent number：7084020
Application date： Jan. 19, 2018
Publication date： Aug. 01, 2019
Claim (excerpt)：

【請求項1】受光面を有する板状の傾斜部と、支持部材に固定可能に形成された固定部と、前記傾斜部の外縁端部の少なくとも一部に接続され、前記傾斜部と前記固定部とを接続する接続部と、前記傾斜部の前記受光面と電気的に接続された電極部と、を備え、前記傾斜部、前記固定部、及び前記接続部は半導体基板で構成され、前記傾斜部は、前記半導体基板と、前記半導体基板に積層されて前記半導体基板との界面でショットキー障壁を構成する金属層と、を有し、前記金属層の前記半導体基板に接する表面とは反対側の表面を受光面として、前記受光面に所定の波長を有する光が入射した際に前記半導体基板と前記金属層との界面にて表面プラズモン共鳴が生じ、前記接続部内の第1回転軸を中心として周方向の所定の角度の範囲で前記傾斜部の傾斜角度が変化し、前記接続部の剛性は前記傾斜部よりも低い、分光用デバイス。

IPC (5)：

G01N 21/41 ( 200 6.01) , G01J 1/00 ( 200 6.01) , G01J 1/02 ( 200 6.01) , H01L 31/108 ( 200 6.01) , H01L 31/0232 ( 201 4.01)

FI (5)：

G01N 21/41 101 , G01J 1/00 H , G01J 1/02 R , H01L 31/10 C , H01L 31/02 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

SPRセンサとSPRセンサを搭載する検査システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2011-102188 Applicant：国立大学法人東京大学, オリンパス株式会社
光学素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2014-015066 Applicant：国立大学法人東京大学
コア・シェル型磁性粒子センサー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-188881 Applicant：キヤノン株式会社

Show all

Return to Previous Page