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J-GLOBAL ID：202203010948934780

電子顕微鏡用の試料保持用積層体及び電子顕微鏡用の積層体収容ユニット

Inventor： リ シャオガン ,  竹口 雅樹
Applicant, Patent owner： 国立研究開発法人物質・材料研究機構
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2020176414
Publication number (International publication number)：2022067698
Application date： Oct. 21, 2020
Publication date： May. 09, 2022
Summary：

【課題】一対のSiチップの積層体における対向するSiNx膜の膨らみの程度を低減し、LC-S/TEM画像品質を改善する試料保持用積層体を提供すること。 【解決手段】撮像対象サンプルを収容するための試料保持上部デバイス10と試料保持下部デバイス20を備え、試料保持上部デバイス10の対向面と試料保持下部デバイス20の対向面との間に設けられた間隙保持用のスペーサ24と、試料保持上部デバイス10の対向面と試料保持下部デバイス20の対向面とを取り付けて形成されたサンプル保持空間30を有し、上部電子透過性膜窓12と下部電子透過性膜窓22は走査/透過型電子顕微鏡内に放射される電子線が通過するように整列されている。走査/透過型電子顕微鏡内に放射される電子線が、サンプル保持空間30に収容された撮像対象サンプル32を透過して、撮像対象サンプル32の走査/透過型電子顕微鏡像を撮像するのに用いられる。 【選択図】図5

Claim (excerpt)：

走査/透過型電子顕微鏡用の試料ホルダーのホルダー先端に撮像対象サンプルを収容するための試料保持用積層体であって、 前記撮像対象サンプルを収容するための試料保持上部デバイスと試料保持下部デバイスを備え、 前記試料保持上部デバイスに設けられた上部電子透過性膜窓と、 前記試料保持下部デバイスに設けられた下部電子透過性膜窓と、 前記試料保持上部デバイスの対向面と前記試料保持下部デバイスの対向面との間に設けられた間隙保持用のスペーサと、 前記試料保持上部デバイスの対向面と前記試料保持下部デバイスの対向面とを取り付けて形成されたサンプル保持空間を有し、 前記上部電子透過性膜窓と前記下部電子透過性膜窓は、前記走査/透過型電子顕微鏡の電子銃から撮像用検出器に向かう電子線が通過するように、全体的または部分的に重なるように整列されており、 前記サンプル保持空間に収容された撮像対象サンプルを、前記走査/透過型電子顕微鏡の電子銃から撮像用検出器に向かう電子線が透過して、前記撮像対象サンプルの走査/透過型電子顕微鏡像を撮像するのに用いられる試料保持用積層体。

IPC (2)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/18

FI (2)：

H01J37/20 A ,  H01J37/18

F-Term (4)：

5C001AA01 ,  5C001AA08 ,  5C001CC03 ,  5C033KK09

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 米国特許第9196457B2号
  
• 米国特許第8059271B2号
  
• US20130264476A1