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J-GLOBAL ID：202203015941716208

走査型電子顕微鏡を用いた観察方法、及びそのための試料ホルダ

Inventor： 新谷 正嶺 ,  山口 誠二 ,  ▲たか▼玉 博朗
Applicant, Patent owner： 学校法人中部大学
Agent (1)： 矢野 正行
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：1022443
Patent number：7142404
Application date： Jun. 14, 2021
Claim (excerpt)：

【請求項1】液状体と共存している試料台上の対象試料を、電子線照射の線源を有する走査型電子顕微鏡にて観察する方法において、 前記対象試料の前記線源側の面に倣うように、対象試料の動きに応じて弾性変形可能である絶縁性且つ電子透過性の薄膜を前記対象試料に当てるとともに、前記対象試料を前記液状体とともに前記薄膜と前記試料台との間隔内に封入する封入工程と、 前記線源から前記薄膜を経由して前記対象試料に電子線を照射する照射工程とを備えることを特徴とする観察方法。

IPC (5)：

H01J 37/20 ( 200 6.01) ,  H01J 37/22 ( 200 6.01) ,  H01J 37/28 ( 200 6.01) ,  H01J 37/244 ( 200 6.01) ,  G01N 1/28 ( 200 6.01)

FI (6)：

H01J 37/20 A ,  H01J 37/22 502 H ,  H01J 37/28 B ,  H01J 37/244 ,  G01N 1/28 W ,  G01N 1/28 F