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J-GLOBAL ID：202203018276196981

熱流体状態演算装置

Inventor： 原田 俊太 ,  ▲高▼石 将輝 ,  小山 幸典 ,  宇治原 徹
Applicant, Patent owner： 国立大学法人東海国立大学機構
Agent (1)： 弁理士法人 快友国際特許事務所
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：0032026
Patent number：7162937
Application date： Aug. 25, 2020
Claim (excerpt)：

【請求項1】SiCの結晶成長に用いる融液の一部を示すJ次元領域(Jは1、2、3の何れかの値)内の温度分布シミュレーション値および流速分布シミュレーション値のセットを複数セット取得する取得部であって、前記複数セットは各々異なる値を備える複数のパラメータ群に基づいて取得される、前記取得部と、 前記温度分布シミュレーション値および前記流速分布シミュレーション値の複数セットの各々を分解することにより、特徴的温度分布および特徴的流速分布のセットを2個以上抽出する抽出部と、 前記融液の一部の領域であって前記J次元領域に含まれる領域である所定領域の温度分布である所定領域温度分布測定値を測定する測定部と、 前記特徴的温度分布および前記特徴的流速分布のセットの2個以上を互いに線形和することで、前記J次元領域内の温度分布予測値および流速分布予測値を演算する演算部であって、演算された前記温度分布予測値が含んでいる所定領域温度分布予測値であって前記所定領域の温度分布を示す前記所定領域温度分布予測値が、前記測定部で測定した前記所定領域温度分布測定値と一致するように演算する、前記演算部と、 を備える、融液状態演算装置。

IPC (2)：

C30B 15/22 ( 200 6.01) ,  C30B 29/36 ( 200 6.01)

FI (2)：

C30B 15/22 ,  C30B 29/36 A