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J-GLOBAL ID：202203019135054780

真空部品、これを用いた真空排気方法

Inventor： 神谷 潤一郎
Applicant, Patent owner： 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構
Agent (3)： 堀 城之 ,  前島 幸彦 ,  村上 大勇
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2021122848
Publication number (International publication number)：2022027577
Application date： Jul. 28, 2021
Publication date： Feb. 10, 2022
Summary：

【課題】ゲッター作用によって排気を行い、最大捕獲分子数が多くかつ使用寿命の長い真空部品を得る。 【解決手段】真空容器10はTiで構成される。この中心軸に沿った部分において、真空容器10の内面10Aよりも十分に小さな電極面20Aを有し中心軸に沿った中空の円筒形状の電極20が設けられている。この真空部品1においては、内部にArを導入して電極面20Aを正電位としてDC放電を発生させる第1の状態、Arを導入せずに電極面20Aを接地電位とする第2の状態、内部にArを導入して電極面20Aを負電位としてDC放電を発生させる第3の状態、のいずれかを実現することができる。この真空部品1による排気は、第2の状態において行われる。また、電極を用いずに400°C以下の加熱をする状態を実現することでも真空部品1による排気が行われる。 【選択図】図1

Claim (excerpt)：

チタン(Ti)によるゲッター効果による排気能力を有する真空部品であって、 厚さが100μm以上でありTiを含むTi層を具備する真空容器を具備し、 表面にTi酸化物が形成されない前記Ti層、 又は 前記Ti層の上に直接形成された、厚さが1nm以下、又は表面酸素濃度が20atomic%以下とされたTi酸化物層、 が前記真空容器の内面に露出した状態とされて、排気する対象となる真空チャンバを排気することを特徴とする真空部品。

IPC (3)：

F04B 37/04 ,  H01J 37/18 ,  F04B 37/16

FI (3)：

F04B37/04 ,  H01J37/18 ,  F04B37/16 Z

F-Term (6)：

3H076AA24 ,  3H076BB21 ,  3H076BB24 ,  3H076BB26 ,  3H076CC55 ,  5C101CC04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 国際公開2018/097325号
  

Cited by examiner (1)

• 画像表示装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-055670   Applicant：キヤノン株式会社