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J-GLOBAL ID：202203019848577554

ターボ分子ポンプ、真空ポンプシステム、及び真空チャンバを排気する方法

Inventor： チュー アンドリュー ディヴィッド ,  ラム ピーター チャールズ
Applicant, Patent owner： エドワーズ リミテッド
Agent (7)： 田中 伸一郎 ,  ▲吉▼田 和彦 ,  須田 洋之 ,  倉澤 伊知郎 ,  山本 泰史 ,  鈴木 博子 ,  丹澤 一成
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2021570362
Publication number (International publication number)：2022534259
Application date： May. 29, 2020
Publication date： Jul. 28, 2022
Summary：

ターボ分子ポンプ、真空ポンプシステム、及び真空チャンバを排気する方法が開示される。ターボ分子ポンプは、複数のロータブレード列を有するロータと、複数のステータブレード列を有するステータと、外側ケーシングとを備え、ロータはステータ内に回転可能に取り付けられており、ロータ及びステータの少なくとも一方の表面の少なくとも一部が、非蒸発性ゲッター材料を含む。 【選択図】図1

Claim (excerpt)：

ターボ分子ポンプであって、 複数のロータブレード列を有するロータと、複数のステータブレード列を有するステータと、外側ケーシングと、 を備え、前記ロータは前記ステータ内に回転可能に取り付けられており、 前記ロータ及び前記ステータのうちの少なくとも一方の表面の少なくとも一部が、非蒸発性ゲッター材料を含み、 前記ターボ分子ポンプが更に、 圧力を検知する圧力センサーと、 前記非蒸発性ゲッター材料がその活性化温度を上回って加熱されるように、前記ターボ分子ポンプの少なくとも一部を加熱するように構成されたヒーターと、 前記ターボ分子ポンプの動作を制御するための制御回路であって、圧力が第1の所定値を下回ったことを示す前記圧力センサーからの信号に応答して、前記ヒーターを作動させるように構成されている制御回路と、 を備える、ターボ分子ポンプ。

IPC (2)：

F04D 19/04 ,  F04B 37/04

FI (3)：

F04D19/04 H ,  F04D19/04 D ,  F04B37/04

F-Term (9)：

3H076AA21 ,  3H076BB21 ,  3H076CC55 ,  3H076CC98 ,  3H131AA02 ,  3H131BA12 ,  3H131CA01 ,  3H131CA34 ,  3H131CA35

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 国際公開第2017/207706号