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J-GLOBAL ID：202204004715600037
Research Project code：21466834
低消費電力な超長ストローク熱駆動MEMSアクチュエーターの開発
低消費電力な超長ストローク熱駆動MEMSアクチュエーターの開発
National award number：JPMJAX21KF
Study period：2021 - 2023
Organization (1)：
Principal investigator：
(
, 大学院工学研究科, 特別研究員 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJAX21KF
Research overview：
膨大な熱エネルギーを消費してきた社会がカーボンニュートラル社会へとシフトするためには、高効率に熱エネルギーを機械エネルギー変換するハードウェアが不可欠です。本研究では、相変化ナノ薄膜と熱膨張ナノ薄膜を融合させた低消費電力で超長ストロークな熱駆動MEMSアクチュエーターを開発し、熱エネルギーを超高効率に機械エネルギーに変換する強靭化マイクロマシンの設計・製造基盤技術の創出に挑戦します。
Terms in the title (6)：
Terms in the title
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Research program：
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Parent Research Project：
Hardware in Future for Resilience of Real Space
Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency
