天然ゼオライトを用いたSiCウエハの鏡面研削加工に関する研究

Study period：2014 - 2015
Organization (1)：
Research responsibility： ( , 理工学研究科, 教授 )
Research overview：

本研究では天然物からヒントを得てSiCウエハを高い生産性で鏡面創成可能な研削砥石の開発を試みた.その結果,価格でシリカ粒子と比べ1/20に相当する安価な天然ゼオライトを用いることで,OH基との反応性の比較的高いC面で表面粗さ2nmRa,加工能率2.673mm3/hを得た.よって,SiCにおいて鏡面研削砥石としての可能性を見出すことができた.さらにSi面ではほとんど除去加工ができないこともわかり,メカノケミカル研削が行われていることを突き止めた.さらにゼオライトの特性を変化させる手法を見出し,加工能率を向上させることに成功した.最後に,鏡面創成可能なビトリファイドボンドゼオライト砥石を考案し,SiCの鏡面化に成功した.今後,砥石としての発展に期待できる.

, , , ,

Research program：＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page