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J-GLOBAL ID：202204012449927710
Research Project code：21468088
大気圧プラズマジェット加工法が拓く自由曲面デバイス
大気圧プラズマジェット加工法が拓く自由曲面デバイス
National award number：JPMJAX21KD
Study period：2021 - 2023
Organization (1)：
Principal investigator：
(
, 工学部, 助教 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJAX21KD
Research overview：
開発する微細加工システムは、ナノ・マイクロ大気圧プラズマジェットを用いてサブミクロンの加工分解能で自由曲面形状を創成できることに新規性がある。開発するシステムを用いて自由曲面MEMSといった未踏分野に挑戦するため、学術的価値の高い独創性のある研究である。多くのMEMSの分解能や可動範囲などの性能を極限的に向上させことができるため波及効果は大きく、MEMSの付加価値を飛躍的に高めることができる。
Terms in the title (2)：
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,
Research program：
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Parent Research Project：
Hardware in Future for Resilience of Real Space
Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency
