超高性能プラズマ制御技術に基づいた極限真空ポンプの事業化検証

National award number：JPMJST2134
Study period：2021 - 2021
Organization (1)：
Principal investigator： ( , ヘリカル研究部, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJST2134
Research overview：

超高性能プラズマ制御研究ではこれまで多くの極限技術が開発されており、それらを使った民生応用製品販売について事業化検証する。具体的には、高性能真空ポンプの製品販売事業と、細孔を制御した活性炭を真空ポンプの部品として供給する事業について検証する。

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Research program：＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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