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J-GLOBAL ID：202303004638765862

光学測定装置、光学測定方法、及び光学測定プログラム

Inventor： 住原 花奈 ,  岡野 真人 ,  渡邉 紳一 ,  稲場 肇 ,  大久保 章
Applicant, Patent owner： 慶應義塾 ,  国立研究開発法人産業技術総合研究所
Agent (2)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2020059885
Publication number (International publication number)：2021156828
Patent number：7397427
Application date： Mar. 30, 2020
Publication date： Oct. 07, 2021
Claim (excerpt)：

【請求項1】 複数の周波数を含む光を出力する光源と、 試料を透過した前記光の信号を検出する検出器と、 検出された前記信号を解析するプロセッサと、を有し、 前記プロセッサは、前記信号の位相と振幅から、前記試料のパワー透過率と、測定位相差を求め、 前記試料の複素屈折率の周波数依存性の振動を最小にする前記試料の厚さと、前記測定位相差の位相シフト量を示す整数を順次、または同時に特定し、 前記整数を含む位相差、前記厚さ、及び前記パワー透過率に基づいて、前記試料の複素屈折率の実部と虚部を算出する光学測定装置。

IPC (2)：

G01N 21/41 ( 200 6.01) ,  G01J 9/00 ( 200 6.01)

FI (2)：

G01N 21/41 Z ,  G01J 9/00