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J-GLOBAL ID：202303008577412355

誘電体膜およびそれを用いたキャパシタならびに誘電体膜の製造方法

Inventor： 長田 貴弘 ,  知京 豊裕 ,  安藤 陽
Applicant, Patent owner： 国立研究開発法人物質・材料研究機構 ,  株式会社村田製作所
Agent (2)： 山尾 憲人 ,  吉田 環
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：0021128
Patent number：7226747
Application date： May. 28, 2020
Claim (excerpt)：

【請求項1】 パイロクロア型または層状ペロブスカイト型の結晶構造を有する誘電体膜であって、(SrxLa1-x)2(TaxTi1-x)2O7(式中のx=0.35)の組成を有し、 該誘電体膜の結晶構造の主体を成すSr2Ta2O7に関して、(h00)、(0k0)、(00l)、(h0l)および(0kl)の面(h、kおよびlは0を除く整数である)以外に、(111)の配向面を有し、 前記(111)の配向面が、0.506の配向度を有する、誘電体膜。

IPC (8)：

C23C 14/08 ( 200 6.01) ,  C23C 16/40 ( 200 6.01) ,  C23C 14/58 ( 200 6.01) ,  C23C 14/34 ( 200 6.01) ,  C01G 35/00 ( 200 6.01) ,  H01L 21/316 ( 200 6.01) ,  H01L 27/10 ( 200 6.01) ,  H01G 4/12 ( 200 6.01)

FI (8)：

C23C 14/08 K ,  C23C 16/40 ,  C23C 14/58 A ,  C23C 14/34 S ,  C01G 35/00 C ,  H01L 21/316 G ,  H01L 27/10 ,  H01G 4/12 540