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J-GLOBAL ID：202303011739207735

マイクロノズル装置

Inventor： 内山 一美 ,  毛 思鋒 ,  河西 奈保子 ,  林 海鋒 ,  中嶋 秀 ,  加藤 俊吾
Applicant, Patent owner： 東京都公立大学法人
Agent (4)： 田▲崎▼ 聡 ,  小林 淳一 ,  川越 雄一郎 ,  春田 洋孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2021137979
Publication number (International publication number)：2023032083
Application date： Aug. 26, 2021
Publication date： Mar. 09, 2023
Summary：

【課題】吸引ノズルの閉塞を防止して、長時間、連続してナノワイヤを形成することが可能なマイクロノズル装置を提供する。 【解決手段】基板上に金属からなるナノワイヤを形成するマイクロノズル装置であって、3本以上の吐出用毛細管と、1本以上の吸引用毛細管と、を有し、前記吐出用毛細管のうち、少なくとも1つは金属化合物を含む金属溶液を吐出させるとともに、他の吐出用毛細管のうち、少なくとも1つは、前記金属化合物と反応して金属を析出させる反応液を吐出させ、更に、他の吐出用毛細管のうち、少なくとも1つは、前記吸引用毛細管に吸引された前記金属溶液の残液および前記反応液の残液による固形分の生成を阻害するか、または固形分を溶解する閉塞抑制液を吐出させることを特徴とする。 【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基板上に金属からなるナノワイヤを形成するマイクロノズル装置であって、 一端が吐出開口とされた3本以上の吐出用毛細管と、一端が吸引開口とされた1本以上の吸引用毛細管と、前記吐出用毛細管から流体を吐出させる吐出ポンプと、前記吸引用毛細管から流体を吸引させる吸引ポンプと、を有し、 前記吐出用毛細管のうち、少なくとも1つは金属化合物を含む金属溶液を吐出させるとともに、他の吐出用毛細管のうち、少なくとも1つは、前記金属化合物と反応して金属を析出させる反応液を吐出させ、更に、他の吐出用毛細管のうち、少なくとも1つは、前記吸引用毛細管に吸引された前記金属溶液の残液および前記反応液の残液による固形分の生成を阻害するか、または固形分を溶解する閉塞抑制液を吐出させることを特徴とするマイクロノズル装置。

IPC (5)：

C23C 18/31 ,  C23C 18/44 ,  B05C 5/00 ,  B05C 11/10 ,  B41M 5/00

FI (6)：

C23C18/31 E ,  C23C18/44 ,  B05C5/00 101 ,  B05C11/10 ,  B41M5/00 120 ,  B41M5/00 132

F-Term (28)：

2H186AA17 ,  2H186AB43 ,  2H186AB54 ,  2H186FB16 ,  2H186FB17 ,  2H186FB25 ,  2H186FB56 ,  4F041AB01 ,  4F041AB02 ,  4F041BA05 ,  4F041BA17 ,  4F041BA59 ,  4F042AB00 ,  4F042BA12 ,  4F042CB02 ,  4F042CC03 ,  4F042CC09 ,  4K022AA03 ,  4K022AA05 ,  4K022AA13 ,  4K022AA31 ,  4K022AA41 ,  4K022BA01 ,  4K022CA06 ,  4K022DA01 ,  4K022DB01 ,  4K022DB06 ,  4K022DB07