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J-GLOBAL ID：202303012567224043

ゾルゲル複合体圧電センサ作成方法

Inventor： 小林 牧子 ,  中妻 啓
Applicant, Patent owner： 国立大学法人 熊本大学 ,  株式会社CAST
Agent (1)： 羽立 章二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2021173549
Publication number (International publication number)：2023063187
Application date： Oct. 23, 2021
Publication date： May. 09, 2023
Summary：

【課題】 本願発明は、ゾルゲル複合体圧電センサを容易に作成することができるゾルゲル複合体圧電センサ作成方法を提案する。 【解決手段】 ゾルゲル溶液及びセラミック粉体を利用してゾルゲル複合体圧電センサを作成するときに、アモルファス状(amorphous)のゾルゲル溶液を利用する。例えば鉛を含まないゾルゲル溶液及びセラミック粉体で、0°C以上100°C以下(例えば室温)のような温度で分極処理を行っても低温から高温まで動作する非鉛ゾルゲル複合体圧電センサを作成することができる。例えばTiO 2 -Srゾルゲル溶液を用いることにより、分極温度が高いニオブ酸リチウム粉体などとの混合圧電膜においても常温、100°C以下、300°C以下などでの分極を実現できる。 【選択図】図1

Claim (excerpt)：

ゾルゲル複合体圧電センサを作成するゾルゲル複合体圧電センサ作成方法であって、 ゾルゲル溶液とセラミック粉体の混合物により形成された圧電セラミック膜を用いて前記ゾルゲル複合体圧電センサを作成するステップを含み、 前記ゾルゲル溶液は、アモルファス状のものである、ゾルゲル複合体圧電センサ作成方法。

IPC (7)：

H10N 30/078 ,  H10N 30/30 ,  H10N 30/853 ,  H10N 30/045 ,  C04B 35/624 ,  C04B 35/475 ,  C04B 35/495

FI (7)：

H01L41/318 ,  H01L41/113 ,  H01L41/187 ,  H01L41/257 ,  C04B35/624 ,  C04B35/475 ,  C04B35/495

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 特許第6829851号公報
  
• 特願2020-202072