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J-GLOBAL ID：202303012578471166

ダイヤモンド膜等を形成するためのデバイスおよびその形成方法

Inventor： 豊田 洋通 ,  野村 信福 ,  島田 利之
Applicant, Patent owner： 国立大学法人愛媛大学 ,  株式会社Growth
Agent (3)： 山尾 憲人 ,  江間 晴彦 ,  高岡 健
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：8047886
Patent number：7335551
Application date： Dec. 26, 2018
Claim (excerpt)：

【請求項1】 基材の表面上に少なくともダイヤモンド膜を形成するためのデバイスであって、 原料液を保持しかつ該原料液中に基材を設置するための容器と、 正電極および負電極を備え、かつ前記原料液中にてプラズマを発生させるための電極部と、 前記電極部にそれぞれ接続された原料ガス供給部およびキャリアガス供給部と、 前記電極部に電圧を印加するための電源とを有して成り、 前記電源が直流電源であり、および 前記電極部が付加部材を更に備え、該付加部材が該電極部の前記プラズマの発生領域に位置する電極に取り付けられており、前記付加部材が前記プラズマの発生領域における不純物供給源部材である、デバイス。

IPC (4)：

C01B 32/26 ( 201 7.01) ,  C01B 32/158 ( 201 7.01) ,  C23C 16/27 ( 200 6.01) ,  C23C 16/50 ( 200 6.01)

FI (4)：

C01B 32/26 ,  C01B 32/158 ,  C23C 16/27 ,  C23C 16/50