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J-GLOBAL ID：202303014209496727

結晶成長方法および装置

Inventor： 吉川 彰 ,  村上 力輝斗 ,  大橋 雄二 ,  面 政也
Applicant, Patent owner： 株式会社XMAT ,  国立大学法人東北大学
Agent (1)： 山川 茂樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2022024811
Publication number (International publication number)：2023121455
Application date： Feb. 21, 2022
Publication date： Aug. 31, 2023
Summary：

【課題】1つの坩堝で原料の再投入を繰り返して複数回成長させる結晶成長で、成長させた多元系の結晶における不良の発生を抑制する。 【解決手段】ステップS105で、坩堝の上方に配置され、測定面に付着する物質の質量の変化を測定する圧電材料からなるセンサにより、原料体の融液から蒸散して測定面に付着する物質の質量の変化を測定し、ステップS106で、センサで測定される質量変化を元に、融液から蒸散した成分の量を求める。 【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

坩堝に成長させる結晶の原料からなる原料体を収容し、前記原料体を加熱して融液とし、前記融液に接触させた種結晶より前記融液を徐々に凝固させて結晶を成長させる結晶成長方法において、 前記坩堝の上方に配置され、測定面に付着する物質の質量の変化を測定する圧電材料からなるセンサにより、前記融液から蒸散して前記測定面に付着する物質の質量の変化を測定する測定工程と、 前記センサで測定される質量変化を元に、前記融液から蒸散した成分の量を求める算出工程と を備える結晶成長方法。

IPC (2)：

C30B 29/30 ,  C30B 15/20

FI (2)：

C30B29/30 A ,  C30B15/20

F-Term (6)：

4G077AA02 ,  4G077BC32 ,  4G077EC08 ,  4G077EH02 ,  4G077EH10 ,  4G077HA12

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 特許第3722264号公報