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J-GLOBAL ID:202303021223855590

分析装置および分析方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 弁理士法人日峯国際特許事務所
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2022027118
Publication number (International publication number):2023123194
Patent number:7343742
Application date: Feb. 24, 2022
Publication date: Sep. 05, 2023
Claim (excerpt):
【請求項1】 サンプルの計測のための光を発生する光源と、 前記光源が発生した前記光に基づき、前記サンプル内に最小ビームスポットを形成する照射光を、前記サンプルに照射する光照射部と、 前記最小ビームスポットが形成された前記サンプルの分析微小領域において発生した前方あるいは後方の小角散乱光を受け、前記前方あるいは後方の小角散乱光に基づく平行小角散乱光を発生する平行散乱光変換部と、 前記平行小角散乱光が入射することにより、入射した前記平行小角散乱光を検出する散乱光検出部と、 記憶装置を備え、前記散乱光検出部の検出結果を前記記憶装置に取り込み、前記記憶装置に取り込んだ前記検出結果に基づき、前記サンプルの前記分析微小領域の解析を行う解析部と、を有し、 前記散乱光検出部において、前記平行小角散乱光に基づいて、前記分析微小領域のサンプルの状態の拡大された画像である顕微鏡画像が生成され、さらに生成された前記顕微鏡画像が検出されて前記記憶装置に記憶され、 前記解析部は、前記記憶装置に記憶された前記顕微鏡画像を含む前記散乱光検出部の前記検出結果に基づき、動的散乱光成分あるいは静的散乱光成分、または前記動的散乱光成分および前記静的散乱光成分の両方を解析する、 ことを特徴とする、分析装置。
IPC (1):
G01N 21/17 ( 200 6.01)
FI (1):
G01N 21/17 610
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (5)
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Cited by examiner (5)
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