真空内稼働センサデバイスの基盤技術整備とマルチモーダル化

National award number：JPMJTM22D1
Study period：2022 - 2023
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 工学部, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM22D1
Research overview：

真空装置内で動作可能な小型無線センサの汎用化とマルチモーダル化を進め、真空装置を用いる半導体産業等のプロセスにおいて、装置内現象のデータ取得量を桁違いに増加させることに資する。ハードウェアの基盤整備を行い、プロセス状態変数量をその場自動検出し、装置内測定データと測定箇所を増加させ、状態可視化と機械学習用データ取得を促進する。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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