難加工材料に均一なナノ周期構造体を効率よく作製できる技術の確立

National award number：JPMJTM22BS
Study period：2022 - 2023
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 大学院工学研究院, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM22BS
Research overview：

サファイアは半導体デバイスの基材として広く使用されているものの、既存技術では微細加工が困難であった。本研究では、サファイアのような難加工材料表面に、周期200nm、アスペクト比が3以上でそろった均一なナノ構造体をシンプルな工程で効率よく作製する手法を開発する。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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