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J-GLOBAL ID:202304006772324895
Research Project code:22688691
自己バイアス式集積化SAE-MEMSセンサの開発
自己バイアス式集積化SAE-MEMSセンサの開発
National award number:JPMJTR22R5
Study period:2022 - 2024
Organization (1):
Research responsibility:
(
, 理工学部, 准教授 )
DOI:
https://doi.org/10.52926/JPMJTR22R5
Research overview:
Society 5.0では、物理センサの高感度化により、従来未計測の物理量を用いた新たなCyber-Physical空間も実現できる。MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術はセンサの小型化・低消費電力化に有用である一方、高感度化には素子材料変更・寸法拡大、バイアス電圧増大などが必要であり、他性能とトレードオフになる。そこで本提案は、SAE(Self-Assembled Electret)によりMEMS物理センサにバイアス電圧を印加し、MEMS素子と周辺回路の性能を維持しつつ、センサ高感度化を実現する自己バイアス式集積化SAE-MEMSセンサを開発する。
Terms in the title (3):
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Research program:
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Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency
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