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J-GLOBAL ID:202304007455156797  Research Project code:22700366

定盤トルクのリアルタイム計測を核としたSmart両面研磨機の開発

定盤トルクのリアルタイム計測を核としたSmart両面研磨機の開発
National award number:JPMJTM22CC
Study period:2022 - 2023
Organization (1):
Principal investigator: ( , 理工研究域, 助教 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTM22CC
Research overview:
加工物両面において良好な面粗度と平面度を実現できる両面研磨加工において,研磨トルクのリアルタイム計測手法を基にしたSmart両面研磨機の開発を目指す.本課題では,研磨トルク計測技術の主力機への搭載に取組むとともに,研磨トルクを活用した過研磨抑制技術を開発し,研究開発課題が実現可能であることを確認する.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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