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J-GLOBAL ID：202403001758274941

振動検出素子およびその製造方法

Inventor： 荻 博次 ,  野中 知行 ,  加藤 史仁
Applicant, Patent owner： 国立大学法人大阪大学 ,  サムコ株式会社 ,  加藤 史仁
Agent (1)： 松山 隆夫
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2020027106
Publication number (International publication number)：2021131315
Patent number：7421178
Application date： Feb. 20, 2020
Publication date： Sep. 09, 2021
Claim (excerpt)：

【請求項1】 第1の面と前記第1の面に対向する第2の面とを有する空間部を含む基材と、 前記空間部の前記第1の面から前記第2の面の方向へ突出した第1の支持部材と、 前記空間部の前記第2の面から前記第1の面の方向へ突出した第2の支持部材と、 前記空間部内において振動可能に前記第1の支持部材または前記第2の支持部材に接して配置された振動子とを備え、 前記振動子は、 圧電体からなる基板と、 前記基板上に配置され、前記基板の面内方向に圧縮力または引張力が印加された薄膜とを含み、前記薄膜は、パラジウム、パラジウム合金、パラジウムを含む金属ガラス、白金、および金を担持した酸化タングステンのいずれかからなる、振動検出素子。

IPC (1)：

G01N 5/02 ( 200 6.01)

FI (1)：

G01N 5/02 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 空気調和装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2019-104824   Applicant：日比谷総合設備株式会社
• マイクロフォン
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2009-280579   Applicant：アオイ電子株式会社
• 圧電素子及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-378321   Applicant：ソニー株式会社
• 水素センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2016-219669   Applicant：国立大学法人名古屋大学, 株式会社鈴木商館
• 角速度検出装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-181064   Applicant：松下電器産業株式会社