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J-GLOBAL ID:202403011868287580
フォトニック結晶面発光レーザ素子
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
デロイトトーマツ弁理士法人
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2024068299
Publication number (International publication number):2024096994
Application date: Apr. 19, 2024
Publication date: Jul. 17, 2024
Summary:
【課題】
高次モード発振を抑制し、高電流注入時に至るまで基本モードを維持しつつ、安定した、ビーム品質の高いレーザ素子を提供する。
【解決手段】
層に平行な面内における形成領域内に2次元的な周期性を有して配された空孔を有するフォトニック結晶層が埋め込まれて形成された第1の半導体層と、第1の半導体層上に形成された活性層と、活性層上に形成された第2の半導体層と、第2の半導体層の表面に形成されたメサ形状のメサ部と、を有している。メサ部はフォトニック結晶層に対して垂直方向から見たとき空孔の形成領域の内側に形成されている。
【選択図】図1A
Claim (excerpt):
フォトニック結晶層を有するフォトニック結晶面発光レーザ素子であって、
層に平行な面内における形成領域内に2次元的な周期性を有して配された空孔を有するフォトニック結晶層が埋め込まれて形成された第1の半導体層と、
前記第1の半導体層上に形成された活性層と、
前記活性層上に形成された第2の半導体層と、
前記第2の半導体層の表面に形成されたメサ形状のメサ部と、を有し、
前記メサ部は前記フォトニック結晶層に対して垂直方向から見たとき前記空孔の前記形成領域の内側に形成されている、フォトニック結晶面発光レーザ素子。
IPC (1):
FI (1):
Patent cited by the Patent:
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