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J-GLOBAL ID:202403013343785710
免疫染色方法、試料交換室、及び荷電粒子線装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
ポレール弁理士法人
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):0044477
Patent number:7530441
Application date: Nov. 30, 2020
Claim (excerpt):
【請求項1】荷電粒子線装置に用いられる試料交換室であって、試料が載置される基板を導入可能な容器と、前記試料を染色する染色機構と、前記試料を洗浄する洗浄機構と、前記容器を真空排気する排気機構と、前記容器の内部及び前記試料を殺菌する殺菌機構と、を備える、ことを特徴とする試料交換室。
IPC (2):
H01J 37/20 ( 200 6.01)
, G01N 33/53 ( 200 6.01)
FI (2):
H01J 37/20 B
, G01N 33/53 Y
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