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J-GLOBAL ID:202403014331605143
小水量供給システムおよび小水量供給方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
弁理士法人酒井国際特許事務所
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2022194129
Publication number (International publication number):2024080842
Application date: Dec. 05, 2022
Publication date: Jun. 17, 2024
Summary:
【課題】液滴の間欠滴下を防止することができる小水量供給システムおよび小水量供給方法を提供する。
【解決手段】装置12の内部の湿度を制御するために用いられる小水量供給システム10であって、湿度を調整するための水を前記装置12内に給水する給水配管16、24と、前記給水配管16内の水を加振する加振手段22、32とを備えるようにする。
【選択図】図1
Claim (excerpt):
装置の内部の湿度を制御するために用いられる小水量供給システムであって、
湿度を調整するための水を前記装置内に給水する給水配管と、前記給水配管内の水を加振する加振手段とを備えることを特徴とする小水量供給システム。
IPC (1):
FI (1):
F-Term (10):
4D074AA02
, 4D074BB03
, 4D074DD07
, 4D074DD12
, 4D074DD13
, 4D074DD14
, 4D074DD17
, 4D074DD18
, 4D074DD63
, 4D074DD70
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
-
振動滴下用ノズル
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2013-074920
Applicant:原子燃料工業株式会社
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