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J-GLOBAL ID：202403016734345799

成膜装置一体型顕微鏡

Inventor： 高橋 康史 ,  鯉沼 秀臣 ,  佐藤 利弘 ,  松木 伸行
Applicant, Patent owner： 国立大学法人金沢大学 ,  鯉沼 秀臣 ,  バキュームプロダクツ株式会社 ,  学校法人神奈川大学
Agent (1)： 大谷 嘉一
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2020093058
Publication number (International publication number)：2021188987
Patent number：7474428
Application date： May. 28, 2020
Publication date： Dec. 13, 2021
Claim (excerpt)：

【請求項1】 走査型プローブ顕微鏡と、成膜装置とシャフトからなる搬送手段とを備え、前記走査型プローブ顕微鏡は計測するために内部制御されるチャンバーと、前記チャンバーに配置した、試料を装着するステージ部を有し、前記成膜装置は成膜するための成膜室と、前記成膜室内に配置し成膜するための基材の固定部を有し、前記チャンバーと前記成膜室とは大気と遮断された連通部にて連結され、前記シャフトの先端部に試料ホルダーを介し、前記基材を取り付けることができ前記シャフトの先端部を前記走査型プローブ顕微鏡の側部から前記ステージ部を通過して、前記成膜室内に有する固定部に向けて前進させることで、前記固定部に前記基材を固定でき、前記基材に前記成膜室内で成膜された試料を前記シャフトの後退移動により、前記試料を前記ステージ部に搬送できることを特徴とする成膜装置一体型顕微鏡。

IPC (3)：

G01Q 30/20 ( 201 0.01) ,  G01Q 30/16 ( 201 0.01) ,  G01Q 60/60 ( 201 0.01)

FI (3)：

G01Q 30/20 ,  G01Q 30/16 ,  G01Q 60/60

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• BEEM測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-357554   Applicant：科学技術振興事業団, 三浦忠男, 田中俊一郎
• 薄膜形成方法及びその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-359150   Applicant：ソニー株式会社
• 電解質および電極を含むピペット
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2013-523668   Applicant：ザユニヴァーシティオブウォーリック