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J-GLOBAL ID：202403017704357152

検出装置

Inventor： 小宮 研一 ,  新井 竜一 ,  山邊 奈緒子 ,  小川 雄一 ,  鈴木 哲仁
Applicant, Patent owner： 東芝テック株式会社 ,  国立大学法人京都大学
Agent (7)： 弁理士法人鈴榮特許綜合事務所 ,  蔵田 昌俊 ,  野河 信久 ,  井上 正 ,  峰 隆司 ,  河野 直樹 ,  金子 早苗
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2020142615
Publication number (International publication number)：2022038231
Patent number：7477109
Application date： Aug. 26, 2020
Publication date： Mar. 10, 2022
Claim (excerpt)：

【請求項1】 基板を支持する設置部と、 互いに発生する磁力が異なる複数の磁力発生部と、 前記基板に電磁波を照射する照射部と、 前記電磁波によって前記基板に形成されるビームスポットのビーム径を調整する調整部と、 前記基板からの反射波又は透過波の強度を検出する検出部と、 前記複数の磁力発生部から、規定量のサンプルに含まれる被検出物を引き寄せるために用いる磁力発生部を選択し、 前記調整部に、ビーム径を選択された前記磁力発生部に対応するビーム径に調整させ、 前記検出部を用いて前記規定量のサンプルが添付されている前記基板からの反射波又は透過波の強度を取得し、 前記強度に基づいて前記規定量のサンプルに含まれる被検出物の量を検出する、 プロセッサと、を備える検出装置。

IPC (1)：

G01N 21/41 ( 200 6.01)

FI (1)：

G01N 21/41 102