6G用圧電単結晶薄膜/多層膜基板構造弾性波デバイス基盤技術の研究開発

National award number：JPMJTR231C
Study period：2023 - 2027
Organization (2)： ,
Corporate responsibility：
Research responsibility： ( , 理工学術院, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTR231C
Research overview：

次世代移動通信システム6Gでは40GHz 超の周波数帯の利用が計画されているが、現状この周波数帯での弾性波フィルタが実現できていない。本研究では、これを実現するためにエピタキシャル圧電薄膜を用いたSM-BAWデバイスに着目し、そのデバイス構造の鍵である、高反射率の音響ブラッグ反射多層膜、超高周波帯で超音波の励振可能な高品質圧電単結晶薄膜およびその大口径化技術を開発する。40GHz超の弾性波デバイス実現のための基盤技術を確立し、次世代通信規格の高密度周波数活用に貢献するとともに、次世代通信規格の世界標準獲得に貢献する。

, , , , , , ,

Research program：＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page