レプリカ法による光学研磨不要な超軽量高精度CFRPミラーの開発

National award number：JPMJTT23J1
Study period：2023 -
Organization (1)：
Corporate responsibility： ( , CEO )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTT23J1
Research overview：

株式会社テックラボは、CFRP表面に均一な樹脂層を形成することでプリントスルーを覆い隠すことにより、光学研磨が不要で高精度な鏡面を実現する「レプリカ法」という製法を発展させてきた。レプリカ法ではプリントスルーのような局所的な凹凸は滑らかにすることができるが、大型LCD製造装置に用いられる3メートルを超えるバーミラーで生じるたわみなどのミラー全体の凹凸までは滑らかにすることが難しい。この課題を解決するため、熱膨張ゼロの素材の型枠を使ってCFRP全体を平坦にする成形技術を新規に開発する。さらに、愛媛大学の粟木教授らの研究成果である、CFRP表面を薄板ガラスで積層する技術とレプリカ法を組み合わせ、プリントスルーを抑制し、超高精度な鏡面を持つ3メートルサイズの大型バーミラーを開発する。

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Research program：＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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